MEMS Torsion-Mirror Actuators for Optical Switching or Attenuating Applications

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：along0429

【摘要】

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Novel MEMS torsion-mirror actuators with monolithically integrated fiber self-holding structures are fabricated, and investigated experimentally and theoretical

【出处】

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光学学报

【发表日期】

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2003年S1期

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Novel MEMS torsion-mirror actuators with monolithically integrated fiber self-holding structures are fabricated, and investigated experimentally and theoretically. Their electromechanical and optical characteristics are acceptable for optical switching or

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