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本文介绍用磁控溅射镀膜机制取的铜／不锈钢——碳质膜层的特点及膜的制取工艺。
全玻璃太阳能真空集热管的镀膜技术
【摘 要】
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本文介绍用磁控溅射镀膜机制取的铜／不锈钢——碳质膜层的特点及膜的制取工艺。
【机 构】
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沈阳建筑工程学院,沈阳真空机械厂,机械部沈阳真空技术研究所
【出 处】
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真空
【发表日期】
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1997年06期
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