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原子层沉积系统的原理及其在ZrO2薄膜制备方面的应用
原子层沉积系统的原理及其在ZrO2薄膜制备方面的应用
来源 :安阳师范学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong457
【摘 要】
:
原子层沉积系统是氧化物薄膜制备的主要手段。阐述了原子沉积的主要原理及工艺参数。利用原子层沉积系统制备了高介电常数ZrO2薄膜材料,系统研究了薄膜的电学性能。研究结果
【作 者】
:
汤振杰
李荣
【机 构】
:
安阳师范学院物理与电气工程学院,安阳师范学院数学与统计学院
【出 处】
:
安阳师范学院学报
【发表日期】
:
2016年2期
【关键词】
:
原子层沉积
薄膜
高介电常数材料
Atomic layer deposition Film High-k
【基金项目】
:
国家自然基金(51402004), 河南省科技厅项目(142102210380), 河南省教育厅项目(15A140003,14A140008,13A140021)
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原子层沉积系统是氧化物薄膜制备的主要手段。阐述了原子沉积的主要原理及工艺参数。利用原子层沉积系统制备了高介电常数ZrO2薄膜材料,系统研究了薄膜的电学性能。研究结果表明,原子层沉积系统制备的ZrO2薄膜具有良好的介电性能,±8V扫描电压下的漏电流密度为10^-3A·cm^-2。
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