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微机电系统MEMS是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。2014松山湖中国IC创新高峰论坛推广了多款新型MEMS产品，从各角度展示了中国创造在应用和性能等方面的突破。
国产微机电系统MEMS器件性能突破
【摘 要】
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微机电系统MEMS是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。2014松山湖中国IC创新高峰论
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2014年6期
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