【摘 要】
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剑桥大学开发薄膜碳晶体管技术据ＳｅｍｉｃｏｎｄＩｎｔ’ｌ１９９６年第６期报道，英国剑桥大学已与文莱的一个研究小组合作开发薄膜碳晶体管工艺技术。该技术将实现在塑料衬底上直接淀积半导体材料。用塑料衬底
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剑桥大学开发薄膜碳晶体管技术据ＳｅｍｉｃｏｎｄＩｎｔ’ｌ１９９６年第６期报道，英国剑桥大学已与文莱的一个研究小组合作开发薄膜碳晶体管工艺技术。该技术将实现在塑料衬底上直接淀积半导体材料。用塑料衬底作液晶显示（ＬＣＤ）面板很具吸引力，但硅所需的工艺温度...
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