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期刊论文
转换反应室的观测窗结构
转换反应室的观测窗结构
来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jimmy7346
【摘 要】
:
本实用新型涉及一种转换反应室的观测窗结构.该转换反应室上方设有一观测口,该观测窗是结合于该观测口之上,并且该观测窗与该观测口周围之间设有一密封的0形环,又在该0形环与该观
【机 构】
:
台湾省友迭光电股份有限公司
【出 处】
:
表面技术
【发表日期】
:
2006年1期
【关键词】
:
观测窗
反应室
结构
实用新型
高生产率
生产成本
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本实用新型涉及一种转换反应室的观测窗结构.该转换反应室上方设有一观测口,该观测窗是结合于该观测口之上,并且该观测窗与该观测口周围之间设有一密封的0形环,又在该0形环与该观测窗之间设有一环形垫片。从而,可避免观测窗发生裂缝,进而降低生产成本并提高生产率。
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