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提出LIGA-EDM复合技术,即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术.通过同步辐射深度光刻得到的胶结构厚度达2mm、深宽比约为100,使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工具电极,利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形小孔阵列.
LIGA-EDM复合技术的研究
【摘 要】
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提出LIGA-EDM复合技术,即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术.通过同步辐射深度光刻得到的胶结构厚度达2mm、深宽比约为100,使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工具电极,利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形小孔阵列.
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所(北京) 北京市机电研究院(北京)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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