深度光刻相关论文
LIGA技术是微加工技术的一个重要手段,有着其它技术所不能够相比的优越性能.BSRE自1993年起开展了这项技术的研究工作,经历了近十......
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,......
微型机械技术将给工业领域带来深刻的变革，它被认为是未来工业的一项基础技术。ＬＩＧＡ技术是制作微电子机械的一种重要加工方法。主要对合......
介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站，研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响；对深度同步辐射光刻扫描台的......
中国科学院光电技术研究所，是中国科学院在西南地区规模最大的研究所．2001年整体进入中国科学院知识创新工程。......
