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针对接近式紫外光刻图形转移中的曝光形状失真问题，采用波前分割的方法对掩模图形上的波前进行区域划分，并利用光场相干叠加相互抵消的性质，最终得到掩模图形上对场点光场影响最大的波前区域，并得到实验验证。应用模拟退火算法对掩模特征处进行局部优化，在保证优化效果的基础上，使优化过程大大简化。
采用波前分割法的接近式光刻掩模版局部优化
【摘 要】
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针对接近式紫外光刻图形转移中的曝光形状失真问题，采用波前分割的方法对掩模图形上的波前进行区域划分，并利用光场相干叠加相互抵消的性质，最终得到掩模图形上对场点光场影响最
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
：
2010年1期
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