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在不同衬底上用纳米引晶法选择性生长金刚石薄膜
在不同衬底上用纳米引晶法选择性生长金刚石薄膜
来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tianxia108
【摘 要】
:
采用光刻工艺和纳米引晶技术,在抛光的单晶Si衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案,并利用引晶处与抛光Si处金刚石成核密度的巨大差异,在光滑的Si3N4和Mo衬底上实现金刚石薄膜的高选择
【作 者】
:
杨洁
李迅
【机 构】
:
空军长春飞行学院,吉林大学超硬材料国家重点实验室
【出 处】
:
吉林大学自然科学学报
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
纳米引晶
金刚石薄膜
选择性生长
seeding with nanocrystalline diamond powder
diamond film
sele
【基金项目】
:
国家自然科学基金! (批准号 :5 963 10 60和 695 760 12 )
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采用光刻工艺和纳米引晶技术,在抛光的单晶Si衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案,并利用引晶处与抛光Si处金刚石成核密度的巨大差异,在光滑的Si3N4和Mo衬底上实现金刚石薄膜的高选择性生长。
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