在不同衬底上用纳米引晶法选择性生长金刚石薄膜

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tianxia108
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采用光刻工艺和纳米引晶技术,在抛光的单晶Si衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案,并利用引晶处与抛光Si处金刚石成核密度的巨大差异,在光滑的Si3N4和Mo衬底上实现金刚石薄膜的高选择性生长。
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