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一种用计量光栅实现 2nm测量分辨率的新方法
一种用计量光栅实现 2nm测量分辨率的新方法
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bushishuai
【摘 要】
:
提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点,对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展,在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档,以获得更高的纳
【作 者】
:
余文新
邹自强
胡小唐
【机 构】
:
天津大学精北京光电量仪研究中心,;
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
光 栅
细 分
纳 米 测 量
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提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点,对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展,在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档,以获得更高的纳米级的测量分辨率的新方法,并进行了详细充分的实验验证 .
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