Al_2O_3钝化工艺简况

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目前,半导体器件及电路已经广泛地应用在通信、雷达、遥控遥测、电子计算机、航天技术、工业自动化控制及各种仪器表中。这些领域对半导体器件及电路的可靠性提出了愈来愈高的要求。 At present, the semiconductor devices and circuits have been widely used in communications, radar, telemetry, electronic computers, aerospace technology, industrial automation and control instruments and a variety of instruments. These fields have set higher and higher requirements on the reliability of semiconductor devices and circuits.
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