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为提高光刻机掩模台系统的步进扫描品质,进而提高硅片成品质量,提出一种基于S曲线的轨迹规划。对迭代学习控制进行了研究,并针对普通全局迭代算法可能造成系统在特定环节恶化的局限性,采用分段迭代补偿策略,对迭代学习控制器进行分段优化。仿真表明,分段迭代学习控制满足系统的实际需求,可以应用在掩模台系统的调试中。