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期刊论文
超薄铝膜电导特性的原位测量研究
超薄铝膜电导特性的原位测量研究
来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Colo
【摘 要】
:
在真空室内原位测量了磁控溅射超薄铝膜的电阻率和薄膜厚度之间的关系以及各种工艺参数对其影响,薄膜的不同厚度阶段,具有不同的导电特性分析表明:表面和晶界和对传导电子的散射
【作 者】
:
唐兆麟
黄荣方
【机 构】
:
中国科学院金属研究所
【出 处】
:
金属学报
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
超薄膜
电导率
尺寸效应
铝膜
原位测量
ultrathin film
electric conductivity
size effect
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在真空室内原位测量了磁控溅射超薄铝膜的电阻率和薄膜厚度之间的关系以及各种工艺参数对其影响,薄膜的不同厚度阶段,具有不同的导电特性分析表明:表面和晶界和对传导电子的散射是构成薄膜电阻率尺寸的效应的原因。
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