Sigmund热尖峰溅射模型的研究

来源 :烟台师范学院学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangmin6278

【摘要】

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对Singmund热尖峰溅射模型进行了修正.用平均能量淀积密度近似代替了Singmund热尖峰溅射模型中的表面能量淀积密度近似.并用TRIM87程序对Sb~+,Bi~+轰击银靶的能量淀积过程进

【作者】

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万亚宫宝安李岱青叶维祎

【机构】

：

烟台师范学院化学系,烟台师范学院物理系,天津师范大学

【出处】

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烟台师范学院学报：自然科学版

【发表日期】

：

1993年4期

【关键词】

：

溅射能量淀积热尖峰 Sigmund sputtering sputtering yield energy deposition

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对Singmund热尖峰溅射模型进行了修正.用平均能量淀积密度近似代替了Singmund热尖峰溅射模型中的表面能量淀积密度近似.并用TRIM87程序对Sb~+,Bi~+轰击银靶的能量淀积过程进行了模拟计算.将计算所得到的平均能量淀积密度代入修正后的Sig-mund热尖峰溅射模型中,所得到的起始热尖峰区尺寸与能量淀积理论相容.

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