【摘 要】
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在室温下,利用等离子体增强的化学气相沉积法（PECVD）在硅衬底上制备了非晶碳氢薄膜。采用100keV,剂量分别为1.0×1015、5.0×1015、5.0×1016和1.0×1017ions/
【机 构】
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辽宁师范大学物理与电子技术学院,大连民族学院物理与材料工程学院
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在室温下,利用等离子体增强的化学气相沉积法（PECVD）在硅衬底上制备了非晶碳氢薄膜。采用100keV,剂量分别为1.0×1015、5.0×1015、5.0×1016和1.0×1017ions/cm2的He离子（He＋）对非晶碳氢薄膜进行辐照实验。通过基于原子力显微镜（AFM）的纳米压痕和纳米划痕技术,对He＋辐照前后碳氢薄膜的表面硬度进行分析。结果表明,经He＋辐照后碳氢薄膜的表面硬度明显增加,并且随着He＋辐照剂量增加,碳氢薄膜的表面硬度呈逐渐增加的趋势。傅里叶
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