Seya-Nanioka系统真空紫外单色仪的分辨能力及波长读数精度

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本文分析了Seya-Namioka系统光学参数与离焦量的关系,为选取最佳光学参数提供了依据。同时,简要说明了影响谱线质量及波长读数精度的因素,并讨论了补偿波长读数误差的方法。 This paper analyzes the relationship between the optical parameters and the defocus amount of the Seya-Namioka system, which provides the basis for selecting the best optical parameters. At the same time, a brief description of the factors influencing the spectral quality and wavelength reading accuracy is given. The method of compensating the wavelength reading error is also discussed.
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