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本文使用TEM分析、X射线衍射以及电导和霍耳效应联合测量等手段研究了Ar<sup>+</sup>激光结晶a-Si:H膜的结构和电学性质.结果表明a-Si:H液相激光结晶膜(LP-LCR)的平均晶粒尺寸达数十微米,呈【111】择优取向,室温电导率为1.5(Ω·cm)<sup>-1</sup>,电子霍耳迁移率达36cm<sup>2</sup>V<sup>-1</sup>s<sup>-1<