【摘 要】
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<正> 金属有机法砷化镓气相外延工艺,国外已广泛用于微波和光电器件材料的制备。国内在微波器件材料的制备上也取得了一定的进展。此外延工艺中通常使用的镓源是TMG(即三甲基
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<正> 金属有机法砷化镓气相外延工艺,国外已广泛用于微波和光电器件材料的制备。国内在微波器件材料的制备上也取得了一定的进展。此外延工艺中通常使用的镓源是TMG(即三甲基镓),三乙基镓,二乙基氯化镓。这三种镓源,国内均无商品。我们在金属有机砷化镓气相外延中使用的镓源是自制的TMG。 据文献报导,TMG的制备方法有: Ⅰ 金属镓和二甲基汞加热制备; Ⅱ 氯化镓和二甲基锌加热制备; Ⅲ 氯化镓和三甲基铝加热制备。 我们曾采用过方法Ⅰ。用方法Ⅰ制备TMG要使用二甲基汞,二甲基汞系剧毒
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