【摘 要】
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二氧化硅平面光波导(PLC)器件以其低损耗、高工艺容差,以及与CMOS工艺兼容和与单模光纤模场匹配良好等优点,在光通信、光互连和集成光学中得到了广泛的应用.文章综述了二氧化
【机 构】
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科技部高技术中心材料处,北京100044;中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京100083;中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京100083;中国科学院大学
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二氧化硅平面光波导(PLC)器件以其低损耗、高工艺容差,以及与CMOS工艺兼容和与单模光纤模场匹配良好等优点,在光通信、光互连和集成光学中得到了广泛的应用.文章综述了二氧化硅平面光波导器件及其应用的进展,重点针对分束器、阵列波导光栅、可调光衰减器及其集成器件的最新研究进行了介绍,对未来发展趋势进行了展望.
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