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利用硅微细加工工艺制作出热致动微型泵，该泵采用薄膜型准对称结构设计及双面双金属驱动方式，它具有体积较小、工艺简单、易于集成，效率高和流量较大生平特点。
微型热致动泵
【摘 要】
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利用硅微细加工工艺制作出热致动微型泵，该泵采用薄膜型准对称结构设计及双面双金属驱动方式，它具有体积较小、工艺简单、易于集成，效率高和流量较大生平特点。
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年6期
【基金项目】
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国家自然科学重点基金
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