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综述了碳化硅的结构，性能与应用现状，讨论了原子层外延法生长β－ＳｉＣ薄膜及液相外延法制备蓝色α－ＳｉＣ发光管工艺；展望了半导体碳化硅材料的发展前景。
半导体碳化硅的研究现状与应用前景
【摘 要】
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综述了碳化硅的结构，性能与应用现状，讨论了原子层外延法生长β－ＳｉＣ薄膜及液相外延法制备蓝色α－ＳｉＣ发光管工艺；展望了半导体碳化硅材料的发展前景。
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1995年3期
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