液相外延（LPE）相关硕士博士期刊学术论文

综述了碳化硅的结构，性能与应用现状，讨论了原子层外延法生长β－ＳｉＣ薄膜及液相外延法制备蓝色α－ＳｉＣ发光管工艺；展望了半导体碳化硅材料的发展......