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介绍气体微流量标准装置用比较测量法和直接测量法校准漏也的方法，并给出漏孔的校准结果。该标准装置的校准范围为１７－１×１０＾－５Ｐａ．Ｌ／ｓ，不确定度小于２％。
用气体微流量标准装置校准参考漏孔
【摘 要】
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介绍气体微流量标准装置用比较测量法和直接测量法校准漏也的方法，并给出漏孔的校准结果。该标准装置的校准范围为１７－１×１０＾－５Ｐａ．Ｌ／ｓ，不确定度小于２％。
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1996年2期
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