【摘 要】
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采用扫描隧道显微镜(STM)电压脉冲法,在大气环境中进行了纳米级超微加工的实验研究.分别用钨探针和镀金钨探针,以高定向热解石墨(HOPG)和金薄膜为样品,通过在STM探针和样品之
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 300072,天津 300
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采用扫描隧道显微镜(STM)电压脉冲法,在大气环境中进行了纳米级超微加工的实验研究.分别用钨探针和镀金钨探针,以高定向热解石墨(HOPG)和金薄膜为样品,通过在STM探针和样品之间施加一定的电压脉冲,制造出了尺度在纳米量级的结构.对形成的结构特征进行了分析,并总结了部分实验规律.
An experimental investigation of nanoscale ultra-micromachining was carried out in an atmospheric environment using a scanning tunneling microscope (STM) voltage pulse method, using tungsten probes and gold-plated tungsten probes, respectively, using highly oriented pyrolytic graphite (HOPG) The samples were fabricated on a scale of nanoscale by applying a voltage pulse between the STM probe and the sample.The structure of the structure was analyzed and some experimental rules were summarized.
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