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为了研究无机组分的添加对复合材料抗光击穿能力的影响，采用溶胶－凝胶法制备不同组分的Al2O3／PI复合薄膜，利用半导体激光照射不同组分的Al2O3／PI薄膜，研究其透光率、光击穿区域的形貌及不同区域的元素分布、击穿孔区的有效面积。数据分析表明：随Al2O3含量的增加，杂化薄膜的透光率、光击穿孔区的破坏程度、孔区的面积逐渐下降。实验结果表明：纳米Al2O3颗粒可以减小复合薄膜击穿孔的有效面积，从而提高复合薄膜耐击穿性。杂化薄膜的透光率可以袁征其光击穿情况。