【摘 要】
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设计一种石英管式封闭等离子体腔,以高频开关电源作为工作电源,分别填充高纯氩气、不同比例氩—氪混合气体等作为工作气体,结合汤森放电理论,推导出与电子密度有关的参量,结
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设计一种石英管式封闭等离子体腔,以高频开关电源作为工作电源,分别填充高纯氩气、不同比例氩—氪混合气体等作为工作气体,结合汤森放电理论,推导出与电子密度有关的参量,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强、不同气体成分的辉光放电等离子体密度.实验结果表明,以纯氩为工作气体,工作电压350V,管内气压140Pa的条件下,石英放电管内辉光放电等离子体密度可达5.62×10^11cm^-3。对封闭式等离子体腔的气体压强、工作电压、气体成分之间的关系进行了分析,探索了一种封闭腔体内获得高密度等离子
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