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用低能离子束轰击工艺制备了3～5μm及8～10μm碲镉汞pn结,研究了它们的电流-电压及电容-电压特性,发现该pn结为缓变结,与通常认为的关于低能离子束轰击p型碲镉汞造成表面转型的机制主要是汞扩散的假说相符合.
低能离子束轰击碲镉汞制备pn结电学特性的研究
【摘 要】
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用低能离子束轰击工艺制备了3～5μm及8～10μm碲镉汞pn结,研究了它们的电流-电压及电容-电压特性,发现该pn结为缓变结,与通常认为的关于低能离子束轰击p型碲镉汞造成表面转型的
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院传感技术国家重点实验室,山东大学光学系
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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2004年期
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