论文部分内容阅读
微系统技术有着光明的未来。这是因为微米或纳米级小型结构的微型部件和金银丝细品越来越受到欢迎。如生物技术人员就希望能够获得带有微型导液槽的部件或在生物芯片里加入微型泵；汽车工业希望汽油发动机和柴油发动机能够获得更小型化的喷油嘴；传感器的生产厂家也正在把微型化技术向前推进。“尽管所预测的经济状况正在走弱，但是微技术的发展还是会高于平均水平的，