【摘 要】
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本文叙述了在５．３０× １０１２－１．５８×１０１５Ｃｌ＋＋／ｃｍ２剂量范围内，用３．０２ＭｅＶＣｌ＋＋离子轰击金／金系统，研究了金属膜耐蚀性的改变。在 Ｎｉ、 Ｔｉ和 Ａｇ膜中主要研究了 Ａｇ膜对空气和化学试剂的耐蚀性同剂量间的关系，并指出了用 Ｍｅｖ重离子轰击 Ａｇ－Ｃｕ和
【机 构】
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兰州大学现代物理系 兰州市 730001
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本文叙述了在５．３０× １０１２－１．５８×１０１５Ｃｌ＋＋／ｃｍ２剂量范围内，用３．０２ＭｅＶＣｌ＋＋离子轰击金／金系统，研究了金属膜耐蚀性的改变。在 Ｎｉ、 Ｔｉ和 Ａｇ膜中主要研究了 Ａｇ膜对空气和化学试剂的耐蚀性同剂量间的关系，并指出了用 Ｍｅｖ重离子轰击 Ａｇ－Ｃｕ和 Ａｎ－Ｖ系统时， Ａｇ膜耐大气腐蚀大为改善。就所研究的金属膜而言，随着剂量的增加膜的耐化学腐蚀性增强。
This paper describes the change of corrosion resistance of metal films by bombarding gold / gold system with 3.02MeVCl ++ ions in the dose range of 5.30 × 1012-1.58 × 1015Cl ++ / cm2. In the Ni, Ti and Ag films, the relationship between the corrosion resistance of Ag films and air and chemical reagents was studied. The results showed that the resistance of the Ag films to atmosphere when the Ag-Cu and An-V systems were bombarded with Mev heavy ions Corrosion greatly improved. For the investigated metal films, the chemical resistance of the films increases with increasing dose.
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