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氮化硅膜具有对软Ｘ射线吸收较小，成膜光滑，强度大和致密性好等优点，因而常选作为窗口材料。本文主要介绍了用于软Ｘ射线显微术的氮化硅窗口的制备工艺，给出在国家同步辐射实验室软Ｘ射线显微术实验站使用的实验结果。
用于软X射线显微术的氮化硅窗口的研制
【摘 要】
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氮化硅膜具有对软Ｘ射线吸收较小，成膜光滑，强度大和致密性好等优点，因而常选作为窗口材料。本文主要介绍了用于软Ｘ射线显微术的氮化硅窗口的制备工艺，给出在国家同步辐射实验室软Ｘ射
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步?
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1998年2期
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