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介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成.当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷驱动器驱动垂直扫描工作台去实现垂直方向上的精确定位.衍射光栅位移传感器用于探测垂直扫描工作台的垂直位移量.
一种新型精密三维工作台的设计及其应用
【摘 要】
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介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成.当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服
【机 构】
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湖北汽车工业学院
【出 处】
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湖北汽车工业学院学报
【发表日期】
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2007年3期
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