微波功率器件金属化布线回流加固结构

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在回流动力学理论和实验研究的基础上,将回汉加固结构应用于实际微波功率器件,结合器件具体结构和制备工艺,对金属化布红电流分布和最佳回流长度进行了模拟计算和分析,结合实际工艺优化设计了回流加固结构,制备了六种结构样管,电热应力试验结果表明:采用一个缝隙、缝隙宽度为3μm的结构回流加固效果最即,抗热电徙动能力最强,利用回汉疚可有效降低微波管中的纵向(A1-Si界面)电迁徙失效,提高器件可靠性。
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