PCVD法渗6.5%Si的动力学问题研究

来源 :武汉科技大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:shiwuxin
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提高硅钢片磁性能的最佳途径是提高钢片的硅含量。本研究采用等离子体化学气相沉积 ( PCVD)法 ,在( 0 .1~ 0 .3) mm厚的普通硅钢片表面上涂硅 ,然后进行短时间高温扩散处理。结果表明 :硅钢片的 Si含量可达到 6.5% ,磁性能有很大改善。在 ( 460~ 60 0 )℃范围内渗硅 ,其它条件不变 ,渗硅速度随着温度的升高而降低 ,这是由等离子体反应的特殊动力学和热力学性质所决定。 The best way to improve the magnetic properties of silicon steel is to increase the silicon content of the steel. In this study, plasma-enhanced chemical vapor deposition (PCVD) was used to deposit silicon on the surface of (0.1-1.3 mm) plain silicon steel and then diffused for a short time under high temperature. The results show that the Si content of the silicon steel sheet can reach 6.5%, and the magnetic properties have greatly improved. Silicon infiltration in the (460 ~ 60 0) ℃ range, the other conditions remain unchanged, the rate of silicon infiltration decreases with increasing temperature, which is determined by the specific kinetics and thermodynamic properties of the plasma reaction.
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