【摘 要】
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为了提高非晶硅薄膜电池的转换效率和稳定性,采用纳秒紫外激光进行透明导电薄膜制绒,改变激光工艺参数,研究激光功率密度、重复频率、刻蚀速度和填充间距对透明导电薄膜电学
【机 构】
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华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室; 广东工业大学物理与光电工程学院; 华南理工大学机械与汽车工程学院; 深圳市大族激光科技股份有限公司;
【基金项目】
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国家863计划(2012AA040210);中央财政支持地方高校专项资金项目激光先进制造创新培养基地(510-C10293);粤港关键技术招标东莞专项(20092052060010);广东省教育部产学研结合重点项目(2010A090200048);广东省教育厅学科建设专项(C10360);华南理工大学国家金属材料近净成形工程技术研究中心开放基金(2011006)
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为了提高非晶硅薄膜电池的转换效率和稳定性,采用纳秒紫外激光进行透明导电薄膜制绒,改变激光工艺参数,研究激光功率密度、重复频率、刻蚀速度和填充间距对透明导电薄膜电学、光学和晶体结构特性的影响;并根据不同制绒方式制备电池,比较其输出性能。实验结果证明:当激光功率密度P=0.85×105 W/cm2,刻蚀速度v=600mm/s,重复频率f=50kHz,填充间距Δd=0.012mm时,获得薄膜方块电阻较小,陷光效果良好的绒面结构,有效地增强了电池吸收率,提高了电池的转换效率。
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