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论述了适合于测量含(CH、CH_2、CH_3)基团薄膜厚度的红外传感器的设计原理、结构和参数选择。研究了时间差、充填物质、干涉条纹的影响。给出了克服这些影响的设计方法。
红外厚度传感器的设计
【摘 要】
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论述了适合于测量含(CH、CH_2、CH_3)基团薄膜厚度的红外传感器的设计原理、结构和参数选择。研究了时间差、充填物质、干涉条纹的影响。给出了克服这些影响的设计方法。
【机 构】
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浙江工学院
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1992年05期
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