电感耦合等离子体原子发射光谱法测定工业硅中磷的不确定度评定

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对电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-OES)法测定工业硅中磷的不确定度来源进行了详细分析,依次对测量重复性、测量溶液浓度、样品溶液体积、样品称量以及回收率产生的不确定度进行了评定,合成了标准不确定度,最后获得测量结果的扩展不确定度,结果表明测量重复性引入的不确定度贡献最大。
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