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提出一种只需测量垂直入射和斜入射的两条光谱曲线,就能分别确定薄膜的折射率 n(λ)和厚度的方法.该方法在薄膜的消光系数 k~2n~2时适用,精度优于1%.
确定薄膜折射率和厚度的波长法
【摘 要】
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提出一种只需测量垂直入射和斜入射的两条光谱曲线,就能分别确定薄膜的折射率 n(λ)和厚度的方法.该方法在薄膜的消光系数 k~2n~2时适用,精度优于1%.
【机 构】
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东南大学电子工程系,东南大学电子工程系
【出 处】
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东南大学学报
【发表日期】
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1990年6期
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