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在化学热处理(XTO)的技术操作过程中进行质量检查的主要方法是金相学法、化学法和以X射线研究结构法。光电光谱分析方法无论在化学热处理生产质量检查方面,还是在化学热处理过程中的质量研究方面,虽然有许多众所周知的优点:它能同时保证局部分析、快速和准确地进行多组分的测定、各种复杂制品表面上的薄层分析及仪器档次不高时保证分析程序的全自动化,但都没得到广泛的普及。