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用DSC研究了预变形对Ti51Ni49形状记忆合金薄膜的相变行为的影响,结果表明:预变形后薄膜的马氏体发生了稳定化现象,第一次逆相变温度T4A随预应变量增加而升高.而在第二次相变循环中,马氏体稳定化现象消失,逆相变温度T2A基本恢复到变形前的温度值马氏体相变温度随预应变量增大而降低.但R相变受预变形影响不大形状记忆效应研究表明,Ti51Ni49合金薄膜的可恢复应变随预应变量的增加而增大、其最大值4.5%在预应变量为6%时获得.