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以像散法的测微原理为依据，对ＣＤ光学头的检测系统进行改造，构建了一维测微系统。获得０．０７μｍ的测量分辨率，１００ｋＨｚ的频率响应。同时具有体积小，成本低等优点。具有广阔的应用前景。
一种非接触测微新技术初探
【摘 要】
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以像散法的测微原理为依据，对ＣＤ光学头的检测系统进行改造，构建了一维测微系统。获得０．０７μｍ的测量分辨率，１００ｋＨｚ的频率响应。同时具有体积小，成本低等优点。具有广阔的应用前景。
【机 构】
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同济大学机械工程系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1999年11期
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