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探针测试台测试晶圆效率的高低与步进精度、工作台控制的方法、稳定性及快捷性密切相关.介绍了探针测试台X-Y工作台常见类型和电机控制的一般原则,并提供了解决方案.
探针测试台X-Y工作台电机控制
【摘 要】
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探针测试台测试晶圆效率的高低与步进精度、工作台控制的方法、稳定性及快捷性密切相关.介绍了探针测试台X-Y工作台常见类型和电机控制的一般原则,并提供了解决方案.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176;三河建华高科有限责任公司,河北 燕郊 065201
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年5期
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