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<正> (一)实验 1.620℃低温退火对单晶缺陷的影响 620℃下1h,用OS法对比退火与非退火单晶。 2.停炉条件的影响 单晶收尾后以38.1cm/h的速度,提升30min后取出;单晶收尾后以25.4cm/h的速度,提升1h后取出,对比这两种条件下的单晶。
提高n型〈100〉硅单晶质量和成品率的研究
【摘 要】
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<正> (一)实验 1.620℃低温退火对单晶缺陷的影响 620℃下1h,用OS法对比退火与非退火单晶。 2.停炉条件的影响 单晶收尾后以38.1cm/h的速度,提升30min后取出;单晶收尾后以25.
【机 构】
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北京有色金属研究总院,北京有色金属研究总院
【出 处】
：
稀有金属
【发表日期】
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1990年3期
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