论文部分内容阅读
经过7年合作开发,第一条300毫米(12英寸)生产线终于在2001年投产。随后的几年间,陆续又有数条300毫米生产线投入生产。至今300毫米生产线已经经历了三个技术节点,即130纳米,90纳米和65纳米的考验。在技术上随着其它后续生产线的投产,以及不断的改进,完善,业已日渐成熟。在降低生产成本方面与200毫米硅晶圆生产线相比已经显示出优势,可以降低百分之三十。