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  5. Zn-Sn-O系统透明导电薄膜的制备及其性能

Zn-Sn-O系统透明导电薄膜的制备及其性能

来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fionazj
【摘 要】
：
本文采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）过程和旋涂技术,通过高温烧结,得到了Zn-Sn-O系统的薄膜。结合干凝胶的差示扫描热分析（TG-DSC）和薄膜的X射线衍射分析（XRD）,研究了干凝胶在烧结过程中发
【作 者】
：
季伶俐 贺蕴秋 孙芳芳 
【机 构】
：
同济大学材料科学与工程学院,同济大学先进土木工程材料教育部重点实验室
【出 处】
：
材料科学与工程学报
【发表日期】
：
2012年1期
【关键词】
：
Zn2SnO4 ZnSnO3 溶胶-凝胶法 导电性 透明性 Zn2SnO4 ZnSnO3 Sol-Gel conductivity transparency 
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本文采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）过程和旋涂技术,通过高温烧结,得到了Zn-Sn-O系统的薄膜。结合干凝胶的差示扫描热分析（TG-DSC）和薄膜的X射线衍射分析（XRD）,研究了干凝胶在烧结过程中发生的反应。通过控制溶胶的组成和薄膜烧结温度,得到了较纯净的Zn2SnO4晶相薄膜和ZnSnO3晶相薄膜。ZnSnO3晶体薄膜的电阻率显著低于Zn2SnO4晶体薄膜;N2气氛热处理后,ZnSnO3薄膜的电阻率升高而Zn2SnO4薄膜的电阻率大幅降低;当[Zn]/[Zn＋Sn]=50.3at%时,薄膜的晶相仍为Z
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