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随着科技的发展,80年以后有大批国内外生产的扫描电镜投入使用,至今使用年限已近二十年.由于已进入超期服役的阶段,元件老化失效的问题随之而来,使仪器的故障率增加.这里介绍一个由于电阻失效变质而引起图像分辨率下降的实例,供同行参考.我室扫描电镜为S-530型,日立公司生产,一九八四年购进.
S—530扫描电镜分辨率下降维修一例
【摘 要】
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随着科技的发展,80年以后有大批国内外生产的扫描电镜投入使用,至今使用年限已近二十年.由于已进入超期服役的阶段,元件老化失效的问题随之而来,使仪器的故障率增加.这里介绍
【机 构】
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成都理工大学测试中心
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2002年5期
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