【摘 要】
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Yb∶LuScO3晶体作为固体激光器的新型增益介质,其面形和表面质量严重影响激光器的光束质量,因此探索Yb∶LuScO3晶体的超精度光学加工工艺参数具有重要意义。本文系统开展了Yb
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室,中国科学院大学,上海恒益光学精密机械有限公司,山东大学晶体材料国家重点实验室
【基金项目】
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科技部增材制造与激光制造重点专项(No.2016YFB1102300)
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Yb∶LuScO3晶体作为固体激光器的新型增益介质,其面形和表面质量严重影响激光器的光束质量,因此探索Yb∶LuScO3晶体的超精度光学加工工艺参数具有重要意义。本文系统开展了Yb∶LuScO3晶体超精密光学加工的工艺参数研究,针对Yb∶LuScO3晶体在加工过程中容易破裂和表面质量较差的问题,提出了拼接上盘和树脂铜盘抛光垫的关键技术。首先,使用COMSOLMultiphysics有限元软件对拼接工艺中选取的不同保护垫料的应力进行仿真。接着,研磨阶段逐步减小B4C磨料的粒径。然后,粗糙阶段使用树脂铜盘作为
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