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<正>半导体技术在不断提升,端设备对于半导体器件性能、效率、小型化要求的越来越高。寻找硅(Si)以外新一代的半导体材料也随之变得更加重要。在50多年前被广泛用于LED产品的氮化镓(GaN),再次走入大众视野。特别是随着5G的逐步商用,也进一步推动了以氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)代表的第三代半导体材料的快速发展。