【摘 要】
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由悬臂梁与探针集成件（Cantilever stylus）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，固有频率（resonant frequency）是悬臂梁与探针集成件的一个重要技术指标，本文介绍了对力传
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由悬臂梁与探针集成件（Cantilever stylus）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，固有频率（resonant frequency）是悬臂梁与探针集成件的一个重要技术指标，本文介绍了对力传感器的要求、力传感器的设计、检测力传感器的方法，着重介绍了一种采用光学象散原理组成的传感器的固有频率测试系统与方法。
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