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DC—PCVD法快速制备Si3N4薄膜
DC—PCVD法快速制备Si3N4薄膜
来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liudongjiw
【摘 要】
:
采用DC-PCVD方法,控制工艺参数,在GCr15钢试样上获得40μm厚的,以Si3N4为主要成分的非晶态绝缘薄膜,沉积速率约为37A/s,讨论了沉积速率高的原因。
【作 者】
:
周海
吴大兴
【机 构】
:
西南交通大学材料工程系
【出 处】
:
硅酸盐学报
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
直流等离子体
化学气相沉积
氮化硅薄膜
镀膜
direct current plasma chemical vapour deposition
silicon
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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采用DC-PCVD方法,控制工艺参数,在GCr15钢试样上获得40μm厚的,以Si3N4为主要成分的非晶态绝缘薄膜,沉积速率约为37A/s,讨论了沉积速率高的原因。
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